吉林大学学报(工学版)

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CCD激光衍射测径系统的标定方法

何丽桥1,高岩2,王国光1   

  1. 1.吉林大学 物理学院,长春 130022; 2.吉林大学 化学学院,长春 130022
  • 收稿日期:2007-04-25 修回日期:1900-01-01 出版日期:2008-03-01 发布日期:2008-03-01
  • 通讯作者: 何丽桥

Calibration method for CCD laser diffraction filament
diameter measurement system

He Li-qiao1,Gao Yan2,Wang Guo-guang1   

  1. 1.College of Physics, Jilin University, Changchun 130022,China; 2.College of Chemistry, Jilin University, Changchun 130022,China
  • Received:2007-04-25 Revised:1900-01-01 Online:2008-03-01 Published:2008-03-01
  • Contact: He Li-qiao

摘要: 对测量细丝直径在10~40 μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15 μm。

关键词: 光电子学与激光技术, 电荷耦合器件, 激光衍射, 标定方法, 细丝

Abstract: :Two new calibration methods for the charge coupled divice(CCD) laser diffraction system to measure the filament diameter in the range of 10~40 μm were proposed, and the systems with different calibration methods were tested comparatively. The results show that the system accuracy can reach 0.15 μm under appropriate calibration.

Key words: optoelectronics and laser, charge coupled divice(CCD) laser diffraction, calibration method, filament

中图分类号: 

  • TN241
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