何丽桥1,高岩2,王国光1
He Li-qiao1,Gao Yan2,Wang Guo-guang1
摘要: 对测量细丝直径在10~40 μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15 μm。
中图分类号:
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