影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素

影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素

白亦真¹, 吕宪义², 金曾孙², 姜志刚²

1. 大连理工大学物理系, 辽宁省大连 116023; 2. 吉林大学超硬材料国家重点实验室, 长春 130012

收稿日期:2005-03-22 修回日期:1900-01-01 出版日期:2006-01-26 发布日期:2006-01-26
通讯作者: 吕宪义

Factors Affecting the Stability of Large Current Hot Cathode Glow Discharge

BAI Yi-zhen¹, LV Xian-yi², JIN Zeng-sun², JIANG Zhi-gang²

1. Department of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116023, Liaoning Province, China; 2. State Key Laboratory of Superhard Materials, Jilin University, Changchun 130012, China

Received:2005-03-22 Revised:1900-01-01 Online:2006-01-26 Published:2006-01-26
Contact: LV Xian-yi

摘要/Abstract

摘要： 大电流热阴极辉光放电用于等离子体化学气相沉积金刚石膜, 有效地提高了沉积速率和膜品质. 大电流辉光放电具有较强的向弧光放电转化趋势, 本文研究了影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素, 结果表明, 阴极温度、表面形貌、阴阳极位置和尺寸配置关系等对辉光放电的稳定性均有不同程度的影响.

关键词: 热阴极, 辉光放电, 稳定性

Abstract: Large current hot cathode glow discharge was used for plasma chemical vapor deposition of diamond films. It improved deposition rate and films quality efficiently. Large current glow discharge has a strong tendency to transform to arc discharge. This paper focuses our attention on the factors affecting the stability of large current hot cathode glow discharge. The research results show that the cathode temperature, the cathode surface state and the size and place disposition between cathode and anode have influences on the stability of glow discharge, respectively.

Key words: hot cathode, glow discharge, stability

中图分类号:

O461

白亦真, 吕宪义, 金曾孙, 姜志刚. 影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素[J]. J4, 2006, 44(01): 89-92.

BAI Yi-zhen, LV Xian-yi, JIN Zeng-sun, JIANG Zhi-gang. Factors Affecting the Stability of Large Current Hot Cathode Glow Discharge[J]. J4, 2006, 44(01): 89-92.

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