四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究

王蕊, 牛立刚, 贺媛, 李昕, 纪永成, 郭文滨

Ｒesearch of Four-Probe Method for Semiconductor Doping Concentration Experiment

WANG Ｒui, NIU Ligang, HE Yuan, LI Xin, JI Yongcheng, GUO Wenbin

吉林大学学报(信息科学版) . 2019, (5): 507 -511 .