RF磁控溅射法在Si衬底上生长ZnO薄膜界面的XPS研究

RF磁控溅射法在Si衬底上生长ZnO薄膜界面的XPS研究

李万程, 张源涛, 杜国同, 杨树人, 王涛

吉林大学电子科学与工程学院, 集成光电子国家重点实验室, 长春 130023

收稿日期:2003-05-21 修回日期:1900-01-01 出版日期:2003-10-26 发布日期:2003-10-26
通讯作者: 李万程

XPS Research of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering

LI Wan-cheng, ZHANG Yuan-tao, DU Guo-tong, YANG Shu-ren, WANG Tao

College of Electronic Science and Engineering, State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin University, Changchun 130023, China

Received:2003-05-21 Revised:1900-01-01 Online:2003-10-26 Published:2003-10-26
Contact: LI Wan-cheng

摘要/Abstract

摘要： 采用RF磁控溅射方法在Si衬底上生长ZnO薄膜. XRD测量结果表明, ZnO薄膜为c轴择优取向生长的. 对ZnO薄膜进行了XPS深度剖析及测试. 测试结果表明, 在未达到界面时ZnO均符合正化学计量比, 是均匀的单相膜, 表明该方法具有较好的成膜特性. 在界面处, Zn的俄歇修正型的化学位移及俄歇峰峰型的变化、 Zn_{2p_3/2}与Zn_LMM峰积分面积比值的变化、 Si_2p峰的非对称性, 均表明Si与ZnO的界面处有明显的成键作用. 在界面处, n型Si反型为p型.

关键词: 薄膜, XPS, 界面

Abstract: A ZnO thin film was grown on substrate Si by RF reactive magnetron sputtering. The X-ray diffraction (XRD) pattern of the sample shows a sharp diffraction peak for ZnO(002), which indicates that as-sputtered film is highly c-axis oriented. In the experiment, we made the profile of depth, measured ZnO in the various depths, and did qualitative and quantitative calculation. The results indicate the sample is uniform unitary phase consistent the positive stoichiometric ratio before etch reaching the interface, which shows this method could be employed to grow films well. But on the interface, the chemical shift of Zn Auger modify shape, the change of Zn Auger peak shape, the ratio of Zn_{2p_3/2} and Zn_LMM peaks integral a reas, the asymmetry of Si_2p peak all show the effect of forming t he bond on the interface of Si and ZnO. And n-Si is changed into p-Si on the int erface.

Key words: thin film, XPS, interface

中图分类号:

O781

李万程, 张源涛, 杜国同, 杨树人, 王涛. RF磁控溅射法在Si衬底上生长ZnO薄膜界面的XPS研究[J]. J4, 2003, 41(04): 493-496.

LI Wan-cheng, ZHANG Yuan-tao, DU Guo-tong, YANG Shu-ren, WANG Tao. XPS Research of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering[J]. J4, 2003, 41(04): 493-496.

[1]	何小龙, 米亚金, 白露露, 杨艳春. 微量Ni掺杂对铜锌锡硫硒薄膜电学性能的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2026, 64(3): 684-0690.
[2]	刘晓静, 阿卜杜赛麦提·依米提, 张嘉玲, 王巧志, 刘倩, 李思琪, 马季, 于昭志, 孟奕彤, 赵崇旭, 孙璐璐. 组合结构一维函数光子晶体界面态的可调性[J]. 吉林大学学报(理学版), 2026, 64(3): 665-0674.
[3]	刘华虓, 于金艳, 宋申苧, 张梦玺. 移动互联网信息无障碍研究综述[J]. 吉林大学学报(理学版), 2025, 63(1): 124-0138.
[4]	花修艺, 赵宇, 付欣妍, 谭春阳, 张乐园, 梁大鹏, 董德明. 生物扰动对沉积物-水界面附近污染物环境行为及生物地球化学过程的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2025, 63(1): 271-0285.
[5]	李卓霖, 杨金也, 付秀华, 张静, 董所涛, 韩阳. 聚酰亚胺柔性基底红外隔热和保护膜的制备及性能分析[J]. 吉林大学学报(理学版), 2024, 62(6): 1464-1470.
[6]	刘晓静, 阿卜杜赛麦提·依米提, 赵东旭, 赵若钦, 李宏, 张斯淇, 马季. 一维反转对称组合光子晶体结构界面态的可调性[J]. 吉林大学学报(理学版), 2024, 62(6): 1455-1463.
[7]	韩梦, 李宏, 张斯淇, 赵东旭, 刘晓静, 吴向尧. 一维函数光子晶体的界面态[J]. 吉林大学学报(理学版), 2023, 61(3): 681-686.
[8]	陈红, 周雪, 于欢, 于涛宁, 王超, 周晓明. 束状纳米结构SnS薄膜的制备及其光催化性能[J]. 吉林大学学报(理学版), 2023, 61(2): 413-418.
[9]	李柏林, 刘志楠, 郭书海, 王丽. 系列芳香烃在土壤中洗脱规律的分子动力学模拟[J]. 吉林大学学报(理学版), 2021, 59(3): 682-689.
[10]	吴小峰, 王猛, 黄科科, 冯守华. 网状纳米结构α-Fe₂O₃薄膜的电喷雾制备[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(5): 1255-1260.
[11]	郝永乐, 左平, 吴景珠. 基于形状导数求解随机交界面光栅衍射问题[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(3): 530-534.
[12]	曹昉, 陈甜, 冯淑婷, 刘玉香, 李育珍, 石建惠. 多孔化改性对g-C₃N₄/CdS复合光催化剂制备及光催化活性的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(3): 684-690.
[13]	刘伟达, 陈蕊, 王丽丽, 李宏广, 安涛, 张东辉, 徐士翀. 不同基片生长γ′-Fe_4N薄膜的结构及其磁学性能[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(1): 156-160.
[14]	董媛, 张馨月, 李玉杰, 李雅雅, 王虹霞, 潘娅楠, 梁兰馨, 王会岩. 响应面法优化T-2毒素脂质体处方及其抗肿瘤活性[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(1): 171-176.
[15]	赵吉丽, 张会良, 高歌. MBS对PLA/GMS吹塑薄膜性能的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2019, 57(06): 1513-1518.