沉积厚度对L10-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响

吉林大学学报(理学版)

沉积厚度对L1₀-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响

徐健, 陈芳慧, 张玉梅, 刘梅, 李海波

吉林师范大学功能材料物理与化学教育部重点实验室, 吉林四平 136000

收稿日期:2013-03-23 出版日期:2013-11-26 发布日期:2013-11-21
通讯作者: 李海波 E-mail:lihaibo@jlnu.edu.cn

Effect of Deposition Thickness on (001) Texture andMagnetic Properties of L1₀-FePt Thin Films

XU Jian, CHEN Fanghui, ZHANG Yumei, LIU Mei, LI Haibo

Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin Province, China

Received:2013-03-23 Online:2013-11-26 Published:2013-11-21
Contact: LI Haibo E-mail:lihaibo@jlnu.edu.cn

摘要/Abstract

摘要：

采用直流磁控溅射方法在表面氧化的Si(001)基片上制备不同厚度的FePt薄膜, 并利用原子力显微镜(AFM)、 X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征样品的形貌、结构和磁性. 结果表明: 将薄膜样品在H₂气氛中经600 ℃退火1 h, 得到了L1₀-FePt薄膜; 薄膜具有(001)织构或明显的(001)取向生长, 随着沉积厚度
的增加, FePt的晶粒尺寸变大, 样品的有序化程度增大, (001)取向生长呈减弱的趋势；样品均具有明显的垂直磁各向异性, 随着薄膜厚度的增加, 平行膜面矫顽力增大, 垂直膜面矫顽力先增大后减小, 当沉积厚度为10 nm时, 样品的垂直磁各向异性最佳.

关键词: FePt薄膜, 厚度, 织构, 磁性

Abstract:

FePt thin films of different thicknesses were prepared by magnetron sputtering on thermally oxidized Si substrates and annealed at 600 ℃ for 1 h in hydr
ogen to obtain L1₀-FePt films. The results of Xray diffraction show that L1₀-FePt films have a (001) texture or obvious growth in (001) orientation. The grain size of FePt and the degree of ordering increase, and (001) orientation decreases with the increased deposition thickness. Magnetic data exhibit
the inplane coercivity increases, while the outofplane coercivity first increases and then decreases with the increased film thickness. When the film thickness is 10 nm, the sample has the most perpendicular magnetic anisotropy.

Key words: FePt film, thickness, texture, magnetic property

中图分类号:

O482.5

徐健, 陈芳慧, 张玉梅, 刘梅, 李海波. 沉积厚度对L1₀-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2013, 51(06): 1143-1147.

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沉积厚度对L1₀-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响

Effect of Deposition Thickness on (001) Texture andMagnetic Properties of L1₀-FePt Thin Films

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