光学级透明金刚石膜的性

光学级透明金刚石膜的性

赵利军¹, 韩柏², 李博³, 胡小颖⁴

1. 长春大学特殊教育学院, 长春130022; 2. 哈尔滨理工大学理学院, 哈尔滨 150040; 3. 吉林大学原子与分子物理研究所, 长春 130012; 4. 长春大学理学院, 长春 130022

收稿日期:2007-01-28 修回日期:1900-01-01 出版日期:2008-01-26 发布日期:2008-01-26
通讯作者: 赵利军

Properties of Optical-grade Transparent Diamond Film

ZHAO Li jun¹, HAN Bai², LI Bo³, HU Xiao ying⁴

1. College of Special Education, Changchun University, Changchun 130022, China; 2. College of Science, Harbin University of Science and Technology, Harbin 150040, China;3. Institute of Atomic and Molecular Physics, Jilin University, Changchun 130012, China; 4. College of Science, Changchun University, Changchun 130022, China

Received:2007-01-28 Revised:1900-01-01 Online:2008-01-26 Published:2008-01-26
Contact: ZHAO Li jun

摘要/Abstract

摘要： 采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜, 利用傅里叶红外分光光度计和紫外-可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可见光波段的透过率, 并分析了测试结果. 

关键词: 光学级透明金刚石膜, 红外光透过率, 紫外-可见光波段透过率

Abstract: Microwave plasma chemical vapor deposition (MWPCVD) technique, as an electrodeless discharge and clean method, was adopted to prepare optical-grade transparent diamond films on single-crystal silicon substrates. And in order to understand their optical properties in detail, Fourier transform infrared (FTIR) spectrophotometer and ultraviolet-visible (UV-vis) spectrophotometer were employed to analyze their optical transmittance in IR region and UV region, respectively.

Key words: optical-grade transparent diamond film, IR transmittance, UV-vis transmittance

中图分类号:

O484

赵利军, 韩柏, 李博, 胡小颖. 光学级透明金刚石膜的性[J]. J4, 2008, 46(01): 112-114.

ZHAO Li jun, HAN Bai, LI Bo, HU Xiao ying. Properties of Optical-grade Transparent Diamond Film[J]. J4, 2008, 46(01): 112-114.

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