不同Co底层厚度对FeCo（001）取向的影响

吉林大学学报(理学版)

不同Co底层厚度对FeCo（001）取向的影响

王前^1,2, 沈慧娟¹, 石丽佳², 马跃², 徐仕翀^2, 李海波^2, 刘梅²

1. 通化师范学院学报编辑部, 吉林通化 134002;2. 吉林师范大学功能材料物理与化学教育部重点实验室, 吉林四平 136000

收稿日期:2016-12-14 出版日期:2017-11-26 发布日期:2017-11-29
通讯作者: 刘梅 E-mail:liumei@jlnu.edu.cn

Effect of Different Thicknesses of Co Underlayer on （001） Orientation of FeCo

WANG Qian^1,2, SHEN Huijuan¹, SHI Lijia², MA Yue², XU Shichong², LI Haibo², LIU Mei²

1. Editorial Department of Journal, Tonghua Normal University, Tonghua 134002, Jilin Province, China;2. Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin Province, China

Received:2016-12-14 Online:2017-11-26 Published:2017-11-29
Contact: LIU Mei E-mail:liumei@jlnu.edu.cn

摘要/Abstract

摘要： 用磁控溅射法在Si(100)基片上沉积不同厚度的Co底层, 在Co层上先用溶胶凝胶(sol-gel)法旋涂原始溶液, 再经H2还原获得FeCo/SiO₂薄膜, 并用X射线衍射仪测试样品的晶体结构, 由振动样品磁强计(VSM)表征薄膜的磁性质. 结果表明: 随着Co底层厚度的增大, FeCo的晶面取向由(110)逐渐转变为(200); 当Co底层厚度为10 nm时, I₍₂₀₀₎/I₍₁₁₀₎值最大, 即FeCo(200)择优取向最强, 同时薄膜平行膜面的饱和磁化强度最大, 矫顽力最小, 即Co厚度增加有利于改善薄膜的软磁特性.

关键词: 磁控溅射, FeCo/SiO₂复合薄膜, 溶胶凝胶旋涂, 磁性, 结构

Abstract: Co substrates with different thicknesses were deposited on the Si(100) substrates by magnetron sputtering method, then FeCo/SiO2 thin films were prepared by solgel spincoating combined with hydrogen reduction on the Co underlayers. Crystal structure of the samples were tested by Xray diffractometer, while magnetic properties of the thin films were characterized by vibrating sample magnetometer (VSM). The results show that the crystal orientation of FeCo gradually changes from (110) to (200) with the increase of the thickness of Co underlayers. When the thickness of Co underlayer is 10 nm, the value of I₍₂₀₀₎/I₍₁₁₀₎ is the largest, this indicates that the strongest orientation of FeCo(200) is preferred. At the same time, the inplane saturation magnetization of the film is maximum, and the coercivity is minimum, so the thickness of Co increases which is beneficial to improve the soft magnetic properties of FeCo/SiO₂ composite films.

Key words: sol-gel spin-coating, FeCo/SiO₂composite film, structure, magnetic property, m
agnetron sputtering

中图分类号:

O482.5

王前, 沈慧娟, 石丽佳, 马跃, 徐仕翀, 李海波, 刘梅. 不同Co底层厚度对FeCo（001）取向的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2017, 55(06): 1587-1590.

WANG Qian, SHEN Huijuan, SHI Lijia, MA Yue, XU Shichong, LI Haibo, LIU Mei. Effect of Different Thicknesses of Co Underlayer on （001） Orientation of FeCo[J]. Journal of Jilin University Science Edition, 2017, 55(06): 1587-1590.

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