在不同退火温度下射频磁控溅射CNx膜的电子场发射性质
李哲奎, 李俊杰, 金曾孙, 吕宪义, 白晓明, 郑 冰, 田宏伟, 于狭升
Electron Field Emission of RF Magnetron Sputtered CNx Films Annealed at Different Temperatures
LI Zhe-kui, LI Jun-jie, JIN Zeng-sun, LvXian-yi, BAI Xiao-ming,ZHENG Bing, TIAN Hong-wei, YU Xia-sheng
吉林大学学报(理学版)
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2005, (02): 182
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