静电激励微简支梁吸合电压的尺度效应分析

丁楠, 徐旭, 郑卓群, 刘晓波

Analysis of Scale Effect of Pullin Voltage of Electrostatically Actuated Microbeam

DING Nan, XU Xu, ZHENG Zhuoqun， LIU Xiaobo

吉林大学学报(理学版) . 2017, (05): 1146 -1150 .