溅射气氛对ZnO∶N薄膜光学性能的影响

高丽丽, 李淞菲, 曹天福, 张雪

Effect of Sputtering Gas on the Optical Properties of ZnO∶N Thin Films

GAO Lili, LI Songfei, CAO Tianfu, ZHANG Xue

吉林大学学报(理学版) . 2016, (01): 138 -142 .