背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用

岳乃琳, 刘红艳, 张伟

Application of Backscattered Detector in Nano-Scale High-Resolution Surface Analysis of Field Emission SEM

YUE Nailin, LIU Hongyan, ZHANG Wei

吉林大学学报(理学版) . 2022, (5): 1189 -1194 .