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硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析
杨广立， 张 彤， 李春明
FEA Simulation and Analysis of Si-substrated Micro-Structural Gas Sensor
YANG Guang-li， ZHANG Tong， LI Chun-ming
吉林大学学报(理学版) . 2003, (
04
): 510 -512 .