吉林大学学报(工学版) ›› 2003, Vol. ›› Issue (2): 89-94.
王习文, 齐欣, 宋玉泉
WANG Xi-wen, QI Xin, SONG Yu-quan
摘要： 容栅传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展成的,是在光栅、磁栅、同步感应器之后出现的一种新型大位移传感器。本文介绍了容栅传感器的基本原理及存在的问题,综述了容栅传感器的研究历史、现状及应用前景。
中图分类号:
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