纳米晶LaFeO3 薄膜的制备与不同气氛处理后的光电子能谱

纳米晶LaFeO₃ 薄膜的制备与不同气氛处理后的光电子能谱

索辉, 赵毅, 胡广达, 阮圣平, 吴志发, 徐宝琨

吉林大学电子科学与工程学院, 长春 130012

收稿日期:2005-06-06 修回日期:1900-01-01 出版日期:2006-05-26 发布日期:2006-05-26
通讯作者: 索辉

Preparation of Nanocrystalline LaFeO3 Film and XPS Studies on Nanocrystalline LaFeO3 Films Treated in Different Atmospheres〖ST〗〖WT〗Preparation of Nanocrystalline LaFeO3 Film and XPS Studies on Nanocrystalline LaFeO3 Films Treated in Different Atmospheres

SUO Hui, ZHAO Yi, HU Guang-da, RUAN Sheng-ping, WU Zhi-fa, XU Bao-kun

College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China

Received:2005-06-06 Revised:1900-01-01 Online:2006-05-26 Published:2006-05-26
Contact: SUO Hui

摘要/Abstract

摘要： 利用sol\|gel工艺, 在硅衬底上制备了纳米晶LaFeO₃薄膜. 测试了在乙醇蒸气和NO₂气氛下处理后的光电子能谱(XPS), 结果表明, 纳米晶LaFeO₃ 薄膜吸附乙醇后, 表面吸附氧含量明显降低, 铁含量略有下降; 吸附氧化性气体NO₂后, 表面吸附氧和铁含量明显增高, 且存在三价铁离子向四价铁离子转化的趋势. 通过测试和分析表明, LaFeO₃ 的敏感机理不仅与表面吸附氧相关, 还与表面三价铁离子的变价有关.

关键词: 薄膜, 纳米晶材料, 光电子能谱

Abstract: Nanocrystalline LaFeO₃ films were synthesized via the sol-gel technique on silicon substrate. XPS spectra were taken after the nanocrystalline LaFeO₃ films were treated in ethanol and nitrogen dioxide gases respectively. XPS analysis showed that when ethanol was adsorbed by LaFeO₃ film, the surface adsorption of oxygen obviously decreased, Fe content decreased a little bit as well; on the other hand, when NO₂ was adsorbed on its surface, the surface adsorbed oxygen increased apparently and Fe content increased as well; in the mean time, the transition trend from Fe³⁺to Fe⁴⁺ was found. All the observations above show that the mechanism of the gas sensitivity of nanocrystalline LaFeO₃ films is closely related with the surface adsorption of oxygen and the changeable valance of iron. 

Key words: film, nanocrystalline material, XPS

中图分类号:

O484.5

索辉, 赵毅, 胡广达, 阮圣平, 吴志发, 徐宝琨. 纳米晶LaFeO₃ 薄膜的制备与不同气氛处理后的光电子能谱[J]. J4, 2006, 44(03): 465-468.

SUO Hui, ZHAO Yi, HU Guang-da, RUAN Sheng-ping, WU Zhi-fa, XU Bao-kun. Preparation of Nanocrystalline LaFeO3 Film and XPS Studies on Nanocrystalline LaFeO3 Films Treated in Different Atmospheres〖ST〗〖WT〗Preparation of Nanocrystalline LaFeO3 Film and XPS Studies on Nanocrystalline LaFeO3 Films Treated in Different Atmospheres[J]. J4, 2006, 44(03): 465-468.

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