沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

吉林大学学报(理学版)

沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

徐强¹, 杨光敏^2,3, 秦宏宇¹, 白继鹏³

1. 长春工程学院勘查与测绘工程学院, 长春 130022； 2. 长春师范大学物理学院, 长春 130032；3. 吉林大学材料科学与工程学院, 长春 130012

收稿日期:2015-10-14 出版日期:2016-03-26 发布日期:2016-03-23
通讯作者: 秦宏宇 E-mail:490509516@qq.com

Effect of Deposition Temperature on the Tribological Properties of VC Nano Thin Films

XU Qiang¹, YANG Guangmin^2,3, QIN Hongyu^1, BAI Jipeng³

1. School of Prospecting and Surveying Engineering, Changchun Institute of Technology, Changchun 130022, China;[JP]2. College of Physics, Changchun
Normal University, Changchun 130032, China;3. College of Materials Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China

Received:2015-10-14 Online:2016-03-26 Published:2016-03-23
Contact: QIN Hongyu E-mail:490509516@qq.com

摘要/Abstract

摘要：

采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜, 研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响, 并分析其内在关系. 结果表明, 沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小, 有利于降低薄膜中的应力和粗糙度, 可提高薄膜的硬度.

关键词: 基底温度, 薄膜, 摩擦学性能, 碳化钒纳米薄膜

Abstract:

Vanadium carbide (VC) nano thin films were deposited by magnetron sputtering technology. We investigated the effect of deposition temperature on the microstructure, mechanical and tribological properties of VC thin films, and analyzed their intrinsic relationship. Results show that the increase of deposition temperature has little effect on the phase structure and friction coefficient of VC thin films. However, it is beneficial to reduce the stress and roughness of the film, which can improve the hardness of the film.

Key words: deposition temperature； thin film； tribological property, VC nano thin film

中图分类号:

TB383

徐强, 杨光敏, 秦宏宇, 白继鹏. 沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2016, 54(02): 378-381.

XU Qiang, YANG Guangmin, QIN Hongyu, BAI Jipeng. Effect of Deposition Temperature on the Tribological Properties of VC Nano Thin Films[J]. Journal of Jilin University Science Edition, 2016, 54(02): 378-381.

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