J4 ›› 2010, Vol. 48 ›› Issue (03): 478-481.
李启源, 魏长平, 孙小飞
LI Qi yuan, WEI Chang ping, SUN Xiao fei
摘要:
采用溶胶-凝胶(sol\|gel)法在玻璃衬底上制备ZnO/SiO2(ZSO)复合薄膜, 并采用扫描电子显微镜(SEM)、 X射线衍射(XRD)、 紫外\|可见分光光度计(UV\|Vis)和光致发光(PL)谱对样品的形貌、 晶体结构、 透过率及光致发光性能进行表征. SEM结果表明, 样品为双层结构, 随着退火温度的升高, 颗粒变大, 并产生团聚现象; XRD结果表明, 样品经退火处理后生成六方纤锌矿型ZnO, 衍射峰强度和晶粒尺寸随退火温度的升高而增大; UV\|Vis结果表明, 样品同时具有ZnO和SiO2特征吸收边, 双层复合薄膜中ZnO和SiO2两种不同材料的能带不连续导致360 nm附近的曲线不平滑, 并使能带蓝移, 经400 ℃退火处理后的样品透过率较高; PL谱结果表明, 在355 nm波长激发下, 样品分别在紫外区和蓝光区域产生发射峰, 随着退火温度的升高, 样品内缺陷密度减小, 由缺陷引起的发光强度减弱.
中图分类号: