Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

姜文海¹, 侯小柯¹，崔占臣², 张大明¹

1. 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区, 长春 130012; 2. 吉林大学化学学院, 长春 130023

收稿日期:2004-05-20 修回日期:1900-01-01 出版日期:2005-03-26 发布日期:2005-03-26
通讯作者: 姜文海

Accurate Measurement of Optical Properties for Polymer/Si AWG Device Material

JIANG Wen-hai¹, HOU Xiao-ke¹, CUI Zhan-chen², ZHANG Da-ming¹

1. State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jilin University Region,Changchun 130012, China;2. College of Chemistry, Jilin University, Changchun 130023, China

Received:2004-05-20 Revised:1900-01-01 Online:2005-03-26 Published:2005-03-26
Contact: JIANG Wen-hai

摘要/Abstract

摘要： 使用WVASE32型椭偏仪, 对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析；并对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）材料和氟化聚酯材料进行测量, 根据测量结果对阵列波导光栅（AWG）器件进行设计. 在124 nm到1 700 nm之间可测量出任意波长的折射率, 其均方差（MSE）均远小于1, 证明测量结果极其准确. 同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

关键词: 列阵波导光栅, 聚合物, 光学系数, 椭偏仪

Abstract: We analyzed the measurement method of Si-based organic single-films using a model WVASE32 ellipsometer and measured the films of polymethyl methacrylate（PMMA） and fluoro-polyester material. According to the results, we designed the arrayed waveguide grating （AWG） devices. Refractive index can be exactly measured between 124 nm and 1 700 nm, and mean square error(MSE) is far less than 1. Such result suggested that the measurement is very precise. At the same time we discussed the measurements of multilayer organic films and polymer fluoride films.

Key words: arrayed waveguide grating, polymer, optical coefficient, ellipsometer

中图分类号:

O436

姜文海, 侯小柯，崔占臣, 张大明. Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量[J]. J4, 2005, 43(02): 185-189.

JIANG Wen-hai, HOU Xiao-ke, CUI Zhan-chen, ZHANG Da-ming. Accurate Measurement of Optical Properties for Polymer/Si AWG Device Material[J]. J4, 2005, 43(02): 185-189.

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