离子液体中硅锗膜共沉积过程的反应特性

于兆亮, 李忠跃, 李维岩, 李季, 孟祥东, 李海波

Reaction Properties of SiGe FilmCodeposition Process in Ionic Liquid

YU Zhaoliang, LI Zhongyue, LI Weiyan, LI Ji, MENG Xiangdong, LI Haibo

吉林大学学报(理学版) . 2014, (05): 1031 -1034 .