摘要: 为解决装置结构复杂与测量分辨率低的问题, 提出了一种利用单模光纤和耦合器组成的位移测量系统,耦合器输出端两臂连接准直镜头, 照射在被测物体正反两面形成差动结构。 该结构使系统位移分辨率提高了2 倍, 达到 1 / 4 波长, 且整个系统受温度的干扰较小。 通过仿真分析和实验验证, 证明了该方法的可行性,并使用多重希尔伯特变换方法进行位移重构。 结果表明, 该系统的位移重构精度也优于单通道系统, 重构误差由 111 nm 降至 60 nm。
中图分类号:
高丙坤, 丛至诚, 孙 雨. 基于差动光纤干涉仪的位移测量方法[J]. 吉林大学学报(信息科学版), 2021, 39(4): 363-367.
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