摘要: 从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光
开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学
方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
中图分类号:
孙东明, 董 玮, 郭文滨, 刘彩霞, 王国东, 徐宝琨, 陈维友. MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应[J]. J4, 2005, 43(03): 343-347.
SUN Dong-ming, DONG Wei, GUO Wen-bin, LIU Cai-xia,WANG Guo-dong, XU Bao-kun, CHEN Wei-you. Squeeze Film Damping Effect on Dynamic Response of MOEMS Optical Switch with Slant Lower Electrode[J]. J4, 2005, 43(03): 343-347.