摘要:
采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜, X射线衍射(XRD)结果表明: 晶粒尺寸随退火温度的升高而增大, 与原子力显微镜(AFM)分析薄膜表面形貌的结果相符; UV\|Vis吸收谱线表明, 在ZnO带边吸收的位置出现较强的吸收, 并得到600 ℃退火处理的薄膜禁带宽度为3.23 eV; 室温光致发光谱表明, 所有薄膜均在386.5 nm处出现一个紫外发射峰, 当退火温度升高时, 深能级发射受到抑制.
中图分类号:
辛春雨, 张继德, 刘成有, 蒋大勇, 秦杰明. 溶胶-凝胶法ZnO薄膜的制备及性能表征[J]. J4, 2012, 50(01): 122-125.
XIN Chun yu, ZHANG Ji de, LIU Cheng you, JIANG Da yong, QIN Jie ming. Preparation and Performance Characterization |of Zinc Oxide Thin Films by Means of Sol Gel Method[J]. J4, 2012, 50(01): 122-125.