Fe3N纳米晶薄膜退火过程的结构演变及其磁性

吉林大学学报(理学版)

Fe₃N纳米晶薄膜退火过程的结构演变及其磁性

王丽丽, 闫岩, 安涛, 卢歆, 谭芳, 王立杰, 邹林

长春大学理学院, 长春 130022

收稿日期:2012-11-26 出版日期:2013-11-26 发布日期:2013-11-21
通讯作者: 王丽丽 E-mail:llwang163@163.com

Investigation on Structure and Magnetic Properties of Nanocrystal Fe₃N Thin Films

WANG Lili, YAN Yan, AN Tao, LU Xin, TAN Fang, WANG Lijie, ZOU Lin

College of Science, Changchun University, Changchun 130022, China

Received:2012-11-26 Online:2013-11-26 Published:2013-11-21
Contact: WANG Lili E-mail:llwang163@163.com

摘要/Abstract

摘要：

采用直流磁控溅射方法, 在氮气分压为10%的条件下获得了单相纳米晶ε-Fe₃N磁性薄膜, 先将薄膜样品在真空中分别于500,600,700,800 ℃退火, 再利用X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征不同退火温度样品的结构和磁学性能. 结果表明: ε-Fe₃N样品在小于600 ℃可保持结构稳定; 在退火过程中, ε-Fe₃N薄膜的比饱和磁化强度变化较小; 矫顽力先减小后增加; 经过500 ℃退火的ε-Fe₃N样品软磁性能最佳.

关键词: &epsilon, -Fe₃N薄膜, 晶格畸变, 磁性

Abstract:

The nanocrystal ε-Fe₃N thin films were deposited at a N₂ pressure of 10% by DC magnetron sputtering. The films were annealed at different temperatures of 500,600,700,800 ℃ in vaccum. The structure and magnetic properties of the films were characterized via an Xray diffractometer (XRD) and vibrating sample magnetometer (VSM). The results show that the structures of ε-Fe₃N films were still stable under the annealing temperature of 600 ℃. The saturation magnetization (M_s) of the films did not change significantly. The coercivity of the films decreased at first and then increased. The soft magnetic properties were the most optimal when the ε-Fe₃N films were heattreated at 500 ℃.

Key words: &epsilon, -Fe₃N thin film； lattice distortion； magnetic property

中图分类号:

O484.1

王丽丽, 闫岩, 安涛, 卢歆, 谭芳, 王立杰, 邹林. Fe₃N纳米晶薄膜退火过程的结构演变及其磁性[J]. 吉林大学学报(理学版), 2013, 51(06): 1148-1150.

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