衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

吉林大学学报(理学版)

衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

徐强¹, 杨光敏^2,3, 秦宏宇¹, 白继鹏³

1. 长春工程学院勘查与测绘工程学院, 长春 130022； 2. 长春师范大学物理学院, 长春 130032；3. 吉林大学材料科学与工程学院, 长春 130012

收稿日期:2015-10-29 出版日期:2016-07-26 发布日期:2016-07-20
通讯作者: 杨光敏 E-mail:249138087@qq.com

Effect of Substrate Bias on Tribological Properties of VC Nano Thin Films

XU Qiang¹, YANG Guangmin^2,3, QIN Hongyu¹, BAI Jipeng³

1. School of Prospecting and Surveying Engineering, Changchun Institute of Technology, Changchun 130022,China; 2. College of Physics, Changchun
Normal University, Changchun 130032, China;3. College of Materials Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China

Received:2015-10-29 Online:2016-07-26 Published:2016-07-20
Contact: YANG Guangmin E-mail:249138087@qq.com

摘要/Abstract

摘要：

采用磁控溅射技术, 通过改变衬底偏压在室温下制备系列VC薄膜, 并考察衬底偏压对VC薄膜晶体结构、硬度及摩擦磨损性能的影响, 建立相互间的内在联系. 结果表明, 随着衬底偏压的增高, 薄膜的晶粒逐渐细化, 薄膜硬度逐渐增大, 耐磨损性能得到提高, 摩擦系数变化较小.

关键词: 衬底偏压, 薄膜, 力学性能

Abstract:

Using magnetron sputtering technique, VC thin films were prepared by changing the substrate bias at room temperature. We investigated the effect of substrate bias on the crystal structure, hardness and friction properties of VC thin films, and established the intrinsic relationship between them. The
results show that with the increase of substrate bias, the grain is refined, the hardness and wear resistance of films are increased, and the change of the friction coefficient is slight.

Key words: substrate bias, thin film, mechanical property

中图分类号:

TB383

徐强, 杨光敏, 秦宏宇, 白继鹏. 衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响[J]. 吉林大学学报(理学版), 2016, 54(04): 883-886.

XU Qiang, YANG Guangmin, QIN Hongyu, BAI Jipeng. Effect of Substrate Bias on Tribological Properties of VC Nano Thin Films[J]. Journal of Jilin University Science Edition, 2016, 54(04): 883-886.

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