摘要: 利用纳秒激光双光束干涉的光刻方法, 在光刻胶层制备具有周期性的一维光栅结构样品, 并研究其形状记忆特性. 结果表明: 显影后的样品在环境温度为195 ℃及压力的作用下, 光栅形貌发生改变, 光栅垂直高度降低, 衍射光强减弱; 当样品冷却至室温时, 光栅形貌可维持不变; 当样品的环境温度为120 ℃时, 光栅形貌恢复原状, 实现微观形状记忆功能.
中图分类号:
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