蠕动式精密直线驱动器

吉林大学学报(工学版) ›› 2003, Vol. ›› Issue (2): 20-24.

蠕动式精密直线驱动器

李欣欣, 卢全国, 杨志刚, 程光明, 曾平

吉林大学, 机械科学与工程学院, 吉林长春 130025

收稿日期:2002-12-14
基金资助:
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA423150)。

Precision linear actuator of piezoelectric based on wriggle principle

LI Xin-xin, LU Quan-guo, YANG Zhi-gang, CHENG Guang-ming, ZENG Ping

College of Mechanical Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130025, China

Received:2002-12-14

摘要/Abstract

摘要： 基于蠕动原理和误差补偿技术,用压电陶瓷作为动力源设计了一种精密直线驱动器。建立了驱动器的动力学模型,并制作了样机。试验表明:在计算机闭环控制下,该驱动器能够可靠地实现双向运动。在行程为1mm时,定位精度达到±0.01μm;有效驱动力为20N。

关键词: 蠕动, 误差补偿, 压电陶瓷, 闭环控制

Abstract: Based on the wriggle principle and error compensation method,a precision linear actuator and its dynamic model were presented.Under the closing loop control of PC,the actuator can provide stable stepping movement in the stroke of 1 mm,the positioning accuracy of ±0.01μm and the force output of 20 N.

Key words: wriggle, error compensation, piezoelectric, closing loop control

中图分类号:

TH603.8

李欣欣, 卢全国, 杨志刚, 程光明, 曾平. 蠕动式精密直线驱动器[J]. 吉林大学学报(工学版), 2003, (2): 20-24.

LI Xin-xin, LU Quan-guo, YANG Zhi-gang, CHENG Guang-ming, ZENG Ping. Precision linear actuator of piezoelectric based on wriggle principle[J]. 吉林大学学报(工学版), 2003, (2): 20-24.

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