聚合物微流控芯片微通道模压成型分析

吉林大学学报(工学版)

聚合物微流控芯片微通道模压成型分析

文伟力¹，左春柽¹，于建群²，张学军¹

1.吉林大学机械科学与工程学院，长春 130022； 2.吉林大学生物与农业工程学院，长春 130022

收稿日期:2006-01-09 修回日期:2006-05-14 出版日期:2006-09-01 发布日期:2006-09-01
通讯作者: 于建群

Hot embossing process analysis of microchannels
for polymer microfluidic chips

Wen Wei-li¹, Zuo Chun-cheng¹, Yu Jian-qun², Zhang Xue-jun¹

1.College of Mechanical Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130022,China; 2.College of Biological and Agricultural Engineering, Jilin University, Changchun 130022,China

Received:2006-01-09 Revised:2006-05-14 Online:2006-09-01 Published:2006-09-01
Contact: Yu Jian-qun

摘要/Abstract

摘要： 通过试验研究了聚合物微流控芯片微通道模压的工艺过程和工艺参数（包括模压温度、模压压力、模压时间、不同材料及卸载温度等）对微通道尺寸的影响。建立了模压工艺参数与微通道尺寸的关系，并基于黏弹性模型利用有限元方法进行了模压过程的数值仿真，仿真结果与试验结果基本吻合。本文的研究结果对完善聚合物微流控芯片设计和制作的基本理论和基本技术具有积极意义。

关键词: 仪器仪表技术, 电泳芯片, 微流控芯片, 生物芯片, 微全分析系统, 微机电系统, 数值仿真, 热模压

Abstract: A polymer micro hot embossing process was characterized by the experiments and numerical simulations. A series of experiments were carried out with varied process conditions, including processing pressure, temperature, time, different materials and unload temperature, both the depth and width of hotembossed microchannel was investigated. Furthermore, the hotembossing process was numerically simulated by the finite element method using a viscoelastic model to understand its mechanism. The simulation results show in satisfactory agreement with the related experiments, being significant for improvement of the basic theories and the practical techniques of the structure design and manufacture of the polymer microfluidic chips.

Key words: technology of instrument and meter, capillary electrophoresis chip, microfluidic chip, biochip, μTAS, MEMS, numerical simulation, hot embossing

中图分类号:

TH706

文伟力，左春柽，于建群，张学军 . 聚合物微流控芯片微通道模压成型分析[J]. 吉林大学学报(工学版), 2006, 36(05): 696-0700.

Wen Wei-li, Zuo Chun-cheng, Yu Jian-qun, Zhang Xue-jun . Hot embossing process analysis of microchannels
for polymer microfluidic chips[J]. 吉林大学学报(工学版), 2006, 36(05): 696-0700.

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