基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量

吉林大学学报(工学版) ›› 2004, Vol. ›› Issue (3): 445-448.

基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量

金翠云, 栗大超, 靳世久, 王立坤, 李一博

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

收稿日期:2004-02-19 出版日期:2004-07-01
通讯作者: 靳世久(1947- ),男,博士生导师.E-mail:shjjin@tju.educn
基金资助:
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404090)

Measurement technique of In-plane motionfor MEMS based on block matching

JIN Cuiyun, LI Dachao, JIN Shijiu, WANG Likun, LI Yibo

State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China

Received:2004-02-19 Online:2004-07-01

摘要/Abstract

摘要： 为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40nm。

关键词: 自动控制技术, MEMS谐振器, 动态特性, 频闪成像, 块匹配

Abstract: In order to measure motion characteristic and dynamic parameters of MEMS resonator in every moment based on the technique of stroboscopic imaging, clear motion images in one cycle were obtained. Using block matching technique to process motion images of MEMS resonator, the dynamic parameters were also obtained, which give important reference to MEMS designation. Experimental results indicate that the repetition of measurement is 40 nm.

Key words: automatic control technologyv, MEMS resonator, dynamic characteristic, stroboscopic imaging, block matching

中图分类号:

TP274

金翠云, 栗大超, 靳世久, 王立坤, 李一博. 基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量[J]. 吉林大学学报(工学版), 2004, (3): 445-448.

JIN Cuiyun, LI Dachao, JIN Shijiu, WANG Likun, LI Yibo. Measurement technique of In-plane motionfor MEMS based on block matching[J]. 吉林大学学报(工学版), 2004, (3): 445-448.

参考文献

[1] KREHL P, ENGEMANN S, REMBE C, HORFER E P. High-speed visualization, a powerful diagnostic tool for microactuators-retrospect and prospect［J］. Micriosystem Technologies, 1999(5):113-132.
[2] REMBE Christian, KANT Rishi, MULLER Richard S. Optical measurement methods to study dynamic behavior in MEMS［C］//Microsystems Engineering:Metrology and Inspection Proc SPIE Bellingham, USA, 2001.
[3] HEMMERT W, MERMELSTEIN M S, FREEMAN D M. Nanometer resolution of three-dimensional motions using video interference microscopy［C］//IEEE International MEMS99, Orlando FL, 1999.
[4] 李波,涂亚明.基于自适应搜索的快速运动估计算法［J］.北京航空航天大学学报,2001,27(4):373-376.LI 1Bo, TU Yaming. A fast motion estimation alorithem using adaptive search technique［J］. Journay of Beijing University of Aeronautics and Astronautics,2001,27(4):373-376.
[5] HART M R, CONANT R A, LAU K Y, MULLER R S. Stroboscopic interferometer system for dynamic MEMS characterization［J］. J Microelectromech Syst, 2000,9(4):409-418.
[6] REMBE Christian, MULLER Richard S. Measurement system for full three-dimensional motion characterization of MEMS［J］. J Microelectmmech Syst, 2002,11(5):479-488.
[7] 王明辉,彭立中.一种新的快速块匹配运动估计算法［J］.北京大学学报(自然科学版),2001,37(3):315-322.WANG Minghui, PENG Lizhong. A new fast search algorithm for block motion estimation［J］. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis,2001,37(3):315-322.

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