刘耀东1,2, 李光玉1, 连建设1
Liu Yao-dong1,2, Li Guang-yu1, Lian Jian-she1
摘要:
利用脉冲激光沉积法,在氧气氛下(氧分压为11 Pa)以石英玻璃为基体沉积了铝掺杂氧化锌薄膜。靶材选用锌铝合金靶,沉积过程中基体温度保持在150 ℃。研究了ZnO薄膜中铝的质量分数与薄膜电学性能和发光性能的关系。结果表明,掺杂铝的质量分数为1.37%时所获得的ZnO薄膜具有最小的电阻率和较强的紫外发光特性。
关键词:中图分类号:Key words:
中图分类号:
[1] | 赵高磊,张海龙,张波萍. 铜颗粒分散铌酸钾钠压电复合材料的制备与性能[J]. 吉林大学学报(工学版), 2011, 41(05): 1300-1304. |
[2] | 杨晓红,张奎,张美娟,罗克帅,刘勇兵 . Mg-Y4-Nd3合金的组织与摩擦磨损性能[J]. 吉林大学学报(工学版), 2008, 38(04): 835-839. |
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