赵继，陈德祥，张富，詹建明，张恩忠
Zhao Ji，Chen De-xiang, Zhang Fu, Zhan Jian-ming，Zhang En-zhong
摘要： 以纳米SiC颗粒悬浊液作为超光滑加工的载体，研制了适合进行超光滑表面加工且具有良好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液，阐述了悬浊液浮超光滑表面加工的机理，并用该悬浊液对K9光学玻璃进行了加工试验研究，并进行了AFM测试。验证结果表明，加工获得的K9光学玻璃表面粗糙度可以达到Ra=0.84 nm的水平。
中图分类号:
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