吉林大学学报(工学版) ›› 2015, Vol. 45 ›› Issue (1): 161-166.doi: 10.13229/j.cnki.jdxbgxb201501024
邱春玲1,曾小辉1,龙涛2,包泽民1,王培智1
QIU Chun-ling1,ZENG Xiao-hui1,LONG Tao2,BAO Ze-min1,WANG Pei-zhi1
摘要: 针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的O-离子束亮度不稳定的问题,设计并搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以SHRIMP II上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O-离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定地工作在放电电流大于50 mA,气压为110~170 mTorr(1Torr=133.322 Pa)的条件下;当气压为140 mTorr、放电电流为200 mA、磁场强度为0.25 T时,获得的O-离子束亮度能够达到52.4 A/(cm2·sr)。合理控制离子源工作参数,可以增大O-离子束亮度,提高二次离子质谱的横向分辨率和灵敏度。
中图分类号:
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