针对刚柔耦合定位平台(RFCS)在运动阶段和定位阶段模型不同的特点,提出了一种扩张状态观测器辅助的模型预测控制(ESO-MPC)算法。该算法采用时域离散的差分方程对RFCS的动力学响应进行预测,并且在时域离散时引入了可调参数应对实验模型的不确定因素。通过扩张状态观测器(ESO)获取反馈信息,对RFCS的位置、速度及柔性铰链的弹性力和阻尼力进行实时观测。通过RFCS的25组点位运动实验和负载实验,对比了传统PID、前馈PID、LADRC与ESO-MPC算法的性能。实验结果表明,4种控制方案都能达到±0.1 μm的稳态误差,而ESO-MPC算法的整定时间最短,并且通过负载实验验证了ESO-MPC算法的鲁棒性。