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N离子注入非晶碳膜的CN成键研究
林景波, 李俊杰, 李哲奎, 顾广瑞, 盖同祥, 金〓哲胡超权, 吕宪义, 金曾孙
J4. 2005 (03):
324-327.
摘要
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利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键
合的变化及CN成键情况. 结果表明, 被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合, 形成sp3C-N, sp2 C-N 和C≡N键. 随着N离子注入剂量的增加, 膜内sp3 C-N键的含量相对增多, 表明N离子注入更有利于sp3 C-N键的形成.
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计量指标
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